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据深圳平湖实验室官微消息，深圳实验室为降低材料损耗，平湖深圳平湖实验室新技术研究部开发激光剥离工艺来替代传统的衬底多线切割工艺，其工艺过程示意图如下所示：

本文引用地址：

工艺与多线切割工对照：

有益效果：使用

工艺，激光技术得到6/8 inch SiC衬底500μm和350μm产品单片材料损耗≤120 μm，剥离出片率提升40%，领域单片成本降低约22%。重进展

激光剥离技术在提高生产效率、深圳实验室降低成本方面具有显著效果，平湖该工艺的衬底推广，对于快速促进8 inch SiC衬底产业化进程有着重要意义。激光技术不仅为SiC衬底产业带来了轻资产、剥离高效益的领域新模式，也为其他硬质材料的重进展加工提供了新的思路和方法，推动材料科学、深圳实验室激光技术等相关领域的进步与发展。

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