项 目 | 技术要求 |
结构 | 立式-前开门，上开门，钟罩 |
镀膜方式 | 直流、射频、中频磁控溅射 |
腔体数 | 1个 |
腔体材料 | 304不锈钢，双层水冷 |
腔体尺寸 | Φ500 mm×H450mm |
工位数 | 4个工位 |
传输方式 | 磁流体传动，数量2个 |
传输速度 | 公转结构，自转结构，独立控制 |
参数设定 | 温度，时间，气体分压，速度，均可调整 |
机架材质 | 碳钢喷塑 |
观察窗数 | 2个 |
脉冲磁控溅射电源 | 数量4个 |
脉冲偏压电源 | 数量1个 |
真空系统 | 分子泵+直联泵+真空阀门+管道 |
控制系统 | 人机界面+PLC |
供电电源 | 3N，220V/380V，50Hz |
咨询热线13032829558
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