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上海市光学功能膜与检测专业技术服务平台
布勒莱宝
ARES1110
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服务项目:
1.单层介质膜生长:按需求生长不同厚度;
2.红外波段带通滤光片设计与生长;
3.红外波段高反射膜系设计与生长;
4.红外波段增透膜膜系设计与生长;
5.红外波段截止滤光片设计与生长
技术指标:
光学膜厚仪监控波长范围:400-2500nm;
基底最高加热温度:300℃。
目前可淀积材料包括:Ge、ZnS、Si、SiO等
蒸发速率0.5A/s-20A/s,
工作真空:5E-6mbar,
工艺气体(Ar、O2)
样品尺寸:1寸、2寸、3寸、4寸、5寸、40mm*40mm、10mm*10mm等
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