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YZ-1100EBI光学镀膜设备

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主要用于:主要用于各类AR膜、AF膜、冷光膜、各种滤光片、高反膜、ITO透明导电膜等各类光学膜电学膜的镀制
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YZ-1100EBI光学镀膜设备.png


YZ1100EBI  光学真空镀膜机

真空室内腔尺寸:φ1100mm*H1300mm

真空系统:分子泵+双极旋片泵+罗茨泵

晶控:MXC-3B +六探头

蒸发源:双枪+固定阻蒸

空载极限真空:8.0x10-5Pa

空载恢复真空:2x10-3Pa 15min

加热温度:最高300

选件:RF离子源  /霍尔源、POLYCOLD

电源:三相   380V    50HZ

设备重量:约3T

真空镀膜机的内腔尺寸、泵组配置等可根据客户的镀膜工艺量身定制


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晶控:MXC-3B +六探头

蒸发源:双枪+固定阻蒸

空载极限真空:8.0x10-5Pa

空载恢复真空:2x10-3Pa 15min

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选件:RF离子源  /霍尔源、POLYCOLD

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